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四氟化钛
2023-03-29
产品详情
- Cas：7783-63-3
- 产品名称四氟化钛
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- 简介
中文名称:四氟化钛
中文别名:头孢呋辛酸
CAS No:7783-63-3
EINECS号：232-017-6
分子式:F4Ti
沸点:284oC
密度:2.798
外观白色粉末
用途:用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。;
安全说明:S26;S36/37/39;S45
危险品运输编号：UN 3260
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