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乙酰丙酮铪
2023-03-29
产品详情
- Cas：17475-67-1
- 产品名称乙酰丙酮铪
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- 简介
中文名称:乙酰丙酮铪
中文别名:乙酰丙酮铪(IV)
CAS No:17475-67-1
EINECS号：237-861-9
分子式:C20H28HfO8
沸点:82°C/.001mmHg
用途:乙酰丙酮铪为白色结晶状粉末，易溶于甲醇、乙醇、氯仿、苯、甲苯、乙醚等常规有机溶剂，遇水水解。它的升华温度为193°C，是MOCVD (金属有机化学气相沉积）制备HfO2涂层和薄膜的理想前驱体，早在20世纪70年代M. Balog就以Hf (acac)4为前驱体制备了高纯HfO2薄膜。
安全说明:26-36/37/39
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